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【技術文章】薄膜的電學性質 2014-08-04

薄膜的電學性質，如電阻率、電阻溫度系數、介電常數等及其與膜厚、外加電場、環境溫度等的關系直接決定了薄膜在各種實際應用中的性能。金屬薄膜、介質薄膜、半導薄膜和超導體薄膜的電學性質都不一樣。

【技術文章】什么是維氏硬度計 2014-07-31

維氏硬度計是以金剛石壓入試樣后，用所得壓痕對角線的長度值(單位一般為微米)進行計算而求得硬度值的。金剛石壓頭的形狀是一四方角錐體，錐面夾角為1360，它的壓痕是一個壓下去的四方角錐體。對于薄膜來說，過深的壓痕其形變的影響范圍有可能達到基片，這時測得硬度就不準...

【技術文章】薄膜的硬度測試 2014-07-25

物質的硬度定義為一種物質相對于另一物質的抗摩擦性或抗刻劃性的能力。例如氮化欽薄膜蒸鍍在齒輪或刀具的表面，可以延長它們的壽命，硬度極高、耐腐蝕性極好、透光性能優良的類金剛石膜可用于光學器件、太陽能電池的表面保護。 硬度試驗方法多種多樣，現在最常用的是...

【技術文章】內應力的測量方法-X射線衍射法 2014-07-23

用X射線衍射法可以測量出薄膜結構的面間距，將測量值與材料的標準面間距相比可以求出薄膜的應變，從而求出薄膜的內應力。為了使衍射峰不過于彌散，薄膜的厚度至少要數十納米以上。圖退火前后金剛石薄膜的X射線衍射圖。由圖可見，薄膜各晶面在退火前的峰位要大于退火后薄膜對應...

【技術文章】內應力的測量方法-彎盤法 2014-07-21

彎盤法的基本原理與懸臂梁法相同，也是利用基片的形變測定內應力的。所不同的是基片為圓形，在沉積薄膜前后測量基片的曲率半徑Rl和R2，然后根據下式計算出薄膜中的內應力。 為了保證測試系經有較高的靈敏度，需要選用合適的基片和檢測方法?，F在常用的...

【技術文章】內應力的測量方法-懸臂梁法 2014-07-18

內應力測量方法大體上可分為兩類，即機械法和衍射法。機械法測量基片受應力作用后彎曲的程度，衍射法則測量薄膜晶格常數的畸變。在這兩大類中又分別有許多不同的方法，下面簡單介紹幾種常用的方法。 一、懸臂梁法 將薄膜沉積在基片上，基片受到...

【技術文章】附著力測試的直接法 2014-07-09

如果薄膜的附著力很強，即使粘結面被剝離而薄膜仍然附著，就要將力直接加到薄膜上使其剝離基片，這類測量附著力的方法稱為直接法。直接法中有劃痕法、摩擦法、離心法等。此處著重介紹常用的劃痕法。 劃痕法直接測量附著力的原理如圖7一4所示。將一根硬針的*垂直...

【技術文章】薄膜的附著現象 2014-07-03

薄膜在基片表面上的附著，是范德華力、擴散附著、機械鎖合、靜電引力等多種因素綜合作用的結果。如薄膜材料與基片形成化合物，化學鍵力成為主要的附著作用力。薄膜的附著力可分為簡單附著、擴散附著、通過中間層附著和宏觀效應附著等四種類型。

【技術文章】薄膜的附著力 2014-07-02

薄膜在基片上的附著性能決定了薄膜應用的可能性和可靠性。附著的定義為:薄膜與基片保持接觸，兩者的原子互相受到對方的吸附作用的狀態。把單位面積的薄膜從基片上準靜態地剝離下來所需的力為附著力，所需要的能量為附著能。

【技術文章】薄膜的力學性質概述 2014-06-30

薄膜的力學性質主要包括附著性質、應力性質、彈性性質和機械強度等。薄膜和基片之間的附著性能好壞將直接影響到薄膜的使用性能。在某些情況下還需考慮薄膜的其他力學性能，如主要用于增強基體的硬度與耐摩擦能力的超硬薄膜，則需要考慮耐壓強度。